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堀場エステック、レーザーガス分析計「LG-100」を発売。独自の赤外ガス分析技術「IRLAM」を搭載し最先端の半導体製造プロセスを支える

Motor Fan illustrated

公開日：2024.05.24

更新日：2024.05.24

レーザーガス分析計「LG-100」

LG-100で測定した際のSiF4の分圧変化

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