レゾナックのパワー半導体用SiCエピウェハーがデンソー製インバーターに採用
レゾナック（本社：東京都港区）は、同社が開発したパワー半導体向けSiCエピタキシャルウェハー（以下、SiCエピウェハー）が、デンソー（本社：愛知県刈谷市）製インバーターの駆動素子に採用されたことを発表した。
デンソー製のインバーターは、トヨタ（本社：愛知県豊田市）が発表したLEXUS初のバッテリーEV（BEV）専用モデルであるRZに搭載される。インバーターの駆動素子へのSiCエピウェハーの採用は、LEXUSとして初の事例（※1）となる。
SiCパワー半導体は、従来のシリコンウェハーを用いたもの比べて電力損失や熱の発生が少ない。省エネルギーやCO2削減に貢献する次世代のデバイスとして、BEVや再生可能エネルギー、xEV用の高速充電スタンド、鉄道車両など様々な用途で市場が拡大している。
レゾナックの150mm SiCエピウェハーは、高水準の低表面欠陥および低基底面転位といった品質が評価され、様々な用途に採用されてきた。車載用途では特に高い信頼性が求められるが、これまでの実績と品質特性が評価され、LEXUS RZの車載インバーター駆動素子への採用に至った。SiCインバーターは通常のSiインバーターに比べて損失が少ないため、航続距離を延ばすことができる。
レゾナックグループは、グリーンイノベーション基金事業（※2）にて、SiCウェハの研究開発を進めているという。
※1：トヨタ自動車LEXUS RZ 紹介ページより
※2：グリーンイノベーション基金（GI基金）
2050年カーボンニュートラルの実現に向け、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）に造成された基金。レゾナックは、当基金内の次世代デジタルインフラ構築プロジェクトの研究開発項目のひとつである「次世代パワー半導体に用いるウェハ技術開発」において、「次世代グリーンパワー半導体に用いるSiCウェハ技術開発」として研究開発を実施している。
